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CO2激光器应用之干涉测量仪器
干涉测零件表面粗糙度或厚度等。将一束激光分光后射出并相遇时会产生干涉现象(当波峰与波峰或波谷与波谷重叠时,幅度会增强,当波峰与波谷重叠时则抵消),利用红外显像仪等手段可以黑白显示,即黑色为抵消,白色为增强,由于波峰与波谷之间为半波长即5um左右,那么可以计算出物件表面的凸凹,如果是彩色可看出凸凹的分布图,更为直观和清楚。
应用案例1
Zygo公司用ACCESS LASER COMPANY的稳定型二氧化碳激光器L4S研制的干涉测量仪器,用于测量精密零件。
应用案例2
英国POE公司ACCESS LASER COMPANY的稳定型二氧化碳激光器Lasy-3S研制的干涉测量仪器。INTERFIRE-Ⅱ10.6 使用10.6um的稳定型二氧化碳激光器。该仪器适用于实验室开发、测试或生产,可精确测量热成像镜片的波阵面偏差、红外材料的光学均匀性和光学表面的平整度。